ООО "МОНИТОРИНГ"
  • Каталог продукции
  • Испытания и поверка
  • Информаторий

Стандартные образцы состава искусственной газовой смеси на основе химически активных газов (ХА-М-0, ХА-М-1, ХА-М-2)

ГСО 10545-2014

Стандартный образец состава искусственной газовой смеси на основе химически активных газов (ХА-М-0)

Определяемый компонент Интервал аттестованных (номинальных) значений (% мол.) Относительная расширенная неопределенность при коэффициенте охвата k=2 (%)*
Арсин (AsH3),
Хлор (Cl2),
Хлористый водород (HCl),
Трифторид азота (NF3),
Аммиак (NH3),
Оксид азота (NO),
Оксид углерода (CO),
Диоксид углерода (CO2),
Кислород (O2),
Сероводород (H2S),
Диоксид серы (SO2)
св. 1•10-5 до 5•10-5 7.5
св. 5•10-5 до 1•10-4 3
св. 1•10-4 до 1•10-3 2
св. 1•10-3 до 0.1 1.5
св. 0.1 до 1 0.6
св. 1 до 10 0.4
св. 10 до 20 0.3
св. 20 до 50 0.2
св. 50 до 70 0.1
св. 70 до 90 0.07
св. 90 до 99 0.04
св. 99 до 99.9 0.008
Фтор (F2) св. 1•10-5 до 5•10-5 7.5
св. 5•10-5 до 1•10-4 3
св. 1•10-4 до 1•10-3 2
св. 1•10-3 до 0.1 1.5
св. 0.1 до 1 0.6
св. 1 до 10 0.4
св. 10 до 20 0.3
Фтористый водород (HF),
Фосфин (PH3),
Моносилан (SiH4)
св. 1•10-5 до 5•10-5 7.5
св. 5•10-5 до 1•10-4 3
св. 1•10-4 до 1•10-3 2
св. 1•10-3 до 0.1 1.5
св. 0.1 до 1 0.6
св. 1 до 10 0.4
Карбонилхлорид (COCl2) св. 1•10-5 до 5•10-5 7.5
св. 5•10-5 до 1•10-4 3
св. 1•10-4 до 1•10-3 2
св. 1•10-3 до 0.1 1.5
св. 0.1 до 1 0.6
св. 1 до 5 0.4
Диоксид азота (NO2),
Хлорид кремния (SiCl4)
св. 1•10-5 до 5•10-5 7.5
св. 5•10-5 до 1•10-4 3
св. 1•10-4 до 1•10-3 2
св. 1•10-3 до 0.1 1.5
св. 0.1 до 1 0.6
Цианистый водород (HCN) св. 1•10-5 до 5•10-5 7.5
св. 5•10-5 до 1•10-4 3
св. 1•10-4 до 1•10-3 2
св. 1•10-3 до 5•10-2 1.5
Формальдегид (CH2O) св. 1•10-5 до 5•10-5 7.5
св. 5•10-5 до 1•10-4 3
св. 1•10-4 до 1•10-3 2
Аргон (Ar),
Метан (CH4),
Водород (H2),
Гелий (He),
Азот (N2),
Синтетический воздух (air)
от 0.1 до 1 0.6
св. 1 до 10 0.4
св. 10 до 20 0.3
св. 20 до 50 0.2
св. 50 до 70 0.1
св. 70 до 90 0.07
св. 90 до 99 0.04
св. 99 до 99.9 0.008

* – соответствует границам относительной погрешности (±Δ0) при доверительной вероятности (P=0.95)

Интервал номинальных значений СО
(молярная доля, %)
Допускаемое относительное отклонение
не более ±Д, %
св. 1•10-5 до 5•10-5 30
св. 5•10-5 до 1•10-4 20
св. 1•10-4 до 1•10-3 15
св. 1•10-3 до 0.1 10
св. 0.1 до 1 5
св. 1 до 10 4
св. 10 до 20 2
св. 20 до 50 2
св. 50 до 70 2
св. 70 до 90 1
св. 90 до 99 0.5
св. 99 до 99.9 0.05

ГСО 10546-2014

Стандартный образец состава искусственной газовой смеси на основе химически активных газов (ХА-М-1)

Определяемый компонент Интервал аттестованных (номинальных) значений (% мол.) Относительная расширенная неопределенность при коэффициенте охвата k=2 (%)*
Арсин (AsH3),
Хлор (Cl2),
Хлористый водород (HCl),
Трифторид азота (NF3),
Аммиак (NH3),
Оксид азота (NO),
Оксид углерода (CO),
Диоксид углерода (CO2),
Кислород (O2),
Сероводород (H2S),
Диоксид серы (SO2)
св. 1•10-5 до 5•10-5 10
св. 5•10-5 до 1•10-4 5
св. 1•10-4 до 1•10-3 4
св. 1•10-3 до 0.1 2.5
св. 0.1 до 1 1.5
св. 1 до 10 1
св. 10 до 20 0.6
св. 20 до 50 0.4
св. 50 до 70 0.2
св. 70 до 90 0.15
св. 90 до 99 0.1
св. 99 до 99.9 0.02
Фтор (F2) св. 1•10-5 до 5•10-5 10
св. 5•10-5 до 1•10-4 5
св. 1•10-4 до 1•10-3 4
св. 1•10-3 до 0.1 2.5
св. 0.1 до 1 1.5
св. 1 до 10 1
св. 10 до 20 0.6
Фтористый водород (HF),
Фосфин (PH3),
Моносилан (SiH4)
св. 1•10-5 до 5•10-5 10
св. 5•10-5 до 1•10-4 5
св. 1•10-4 до 1•10-3 4
св. 1•10-3 до 0.1 2.5
св. 0.1 до 1 1.5
св. 1 до 10 1
Карбонилхлорид (COCl2) св. 1•10-5 до 5•10-5 10
св. 5•10-5 до 1•10-4 5
св. 1•10-4 до 1•10-3 4
св. 1•10-3 до 0.1 2.5
св. 0.1 до 1 1.5
св. 1 до 5 1
Диоксид азота (NO2),
Хлорид кремния (SiCl4)
св. 1•10-5 до 5•10-5 10
св. 5•10-5 до 1•10-4 5
св. 1•10-4 до 1•10-3 4
св. 1•10-3 до 0.1 2.5
св. 0.1 до 1 1.5
Цианистый водород (HCN) св. 1•10-5 до 5•10-5 10
св. 5•10-5 до 1•10-4 5
св. 1•10-4 до 1•10-3 4
св. 1•10-3 до 5•10-2 2.5
Формальдегид (CH2O) св. 1•10-5 до 5•10-5 10
св. 5•10-5 до 1•10-4 5
св. 1•10-4 до 1•10-3 4
Аргон (Ar),
Метан (CH4),
Водород (H2),
Гелий (He),
Азот (N2),
Синтетический воздух (air)
от 0.1 до 1 1.5
св. 1 до 10 1
св. 10 до 20 0.6
св. 20 до 50 0.4
св. 50 до 70 0.2
св. 70 до 90 0.15
св. 90 до 99 0.1
св. 99 до 99.9 0.02

* – соответствует границам относительной погрешности (±Δ0) при доверительной вероятности (P=0.95)

Интервал номинальных значений СО
(молярная доля, %)
Допускаемое относительное отклонение
не более ±Д, %
св. 1•10-5 до 5•10-5 50
св. 5•10-5 до 1•10-4 30
св. 1•10-4 до 1•10-3 20
св. 1•10-3 до 0.1 10
св. 0.1 до 1 5
св. 1 до 10 5
св. 10 до 20 3
св. 20 до 50 3
св. 50 до 70 3
св. 70 до 90 2
св. 90 до 99 0.5
св. 99 до 99.9 0.05

ГСО 10547-2014

Стандартный образец состава искусственной газовой смеси на основе химически активных газов (ХА-М-2)

Определяемый компонент Интервал аттестованных (номинальных) значений (% мол.) Относительная расширенная неопределенность при коэффициенте охвата k=2 (%)*
Арсин (AsH3),
Хлор (Cl2),
Хлористый водород (HCl),
Трифторид азота (NF3),
Аммиак (NH3),
Оксид азота (NO),
Оксид углерода (CO),
Диоксид углерода (CO2),
Кислород (O2),
Сероводород (H2S),
Диоксид серы (SO2)
св. 1•10-5 до 5•10-5 15
св. 5•10-5 до 1•10-4 10
св. 1•10-4 до 1•10-3 8
св. 1•10-3 до 0.1 5
св. 0.1 до 1 3
св. 1 до 10 2,5
св. 10 до 20 2
св. 20 до 50 1
св. 50 до 70 0.5
св. 70 до 90 0.3
св. 90 до 99 0.2
св. 99 до 99.9 0.05
Фтор (F2) св. 1•10-5 до 5•10-5 15
св. 5•10-5 до 1•10-4 10
св. 1•10-4 до 1•10-3 8
св. 1•10-3 до 0.1 5
св. 0.1 до 1 3
св. 1 до 10 2.5
св. 10 до 20 2
Фтористый водород (HF),
Фосфин (PH3),
Моносилан (SiH4)
св. 1•10-5 до 5•10-5 15
св. 5•10-5 до 1•10-4 10
св. 1•10-4 до 1•10-3 8
св. 1•10-3 до 0.1 5
св. 0.1 до 1 3
св. 1 до 10 2.5
Карбонилхлорид (COCl2) св. 1•10-5 до 5•10-5 15
св. 5•10-5 до 1•10-4 10
св. 1•10-4 до 1•10-3 8
св. 1•10-3 до 0.1 5
св. 0.1 до 1 3
св. 1 до 5 2.5
Диоксид азота (NO2),
Хлорид кремния (SiCl4)
св. 1•10-5 до 5•10-5 15
св. 5•10-5 до 1•10-4 10
св. 1•10-4 до 1•10-3 8
св. 1•10-3 до 0.1 5
св. 0.1 до 1 3
Цианистый водород (HCN) св. 1•10-5 до 5•10-5 15
св. 5•10-5 до 1•10-4 10
св. 1•10-4 до 1•10-3 8
св. 1•10-3 до 5•10-2 5
Формальдегид (CH2O) св. 1•10-5 до 5•10-5 15
св. 5•10-5 до 1•10-4 10
св. 1•10-4 до 1•10-3 8
Аргон (Ar),
Метан (СН4),
Водород (H2),
Гелий (He),
Азот (N2),
Синтетический воздух (air)
от 0.1 до 1 3
св. 1 до 10 2.5
св. 10 до 20 2
св. 20 до 50 1
св. 50 до 70 0.5
св. 70 до 90 0.3
св. 90 до 99 0.2
св. 99 до 99.9 0.05

* – соответствует границам относительной погрешности (±Δ0) при доверительной вероятности (P=0.95)

Интервал номинальных значений СО
(молярная доля, %)
Допускаемое относительное отклонение
не более ±Д, %
св. 1•10-5 до 5•10-5 50
св. 5•10-5 до 1•10-4 30
св. 1•10-4 до 1•10-3 20
св. 1•10-3 до 0.1 10
св. 0.1 до 1 7
св. 1 до 10 7
св. 10 до 20 5
св. 20 до 50 5
св. 50 до 70 5
св. 70 до 90 3
св. 90 до 99 0.5
св. 99 до 99.9 0.07