ГСО 10545-2014
Стандартный образец состава искусственной газовой смеси на основе химически активных газов (ХА-М-0)
Определяемый компонент | Интервал аттестованных (номинальных) значений (% мол.) | Относительная расширенная неопределенность при коэффициенте охвата k=2 (%)* |
Арсин (AsH3), Хлор (Cl2), Хлористый водород (HCl), Трифторид азота (NF3), Аммиак (NH3), Оксид азота (NO), Оксид углерода (CO), Диоксид углерода (CO2), Кислород (O2), Сероводород (H2S), Диоксид серы (SO2) |
св. 1•10-5 до 5•10-5 | 7.5 |
св. 5•10-5 до 1•10-4 | 3 | |
св. 1•10-4 до 1•10-3 | 2 | |
св. 1•10-3 до 0.1 | 1.5 | |
св. 0.1 до 1 | 0.6 | |
св. 1 до 10 | 0.4 | |
св. 10 до 20 | 0.3 | |
св. 20 до 50 | 0.2 | |
св. 50 до 70 | 0.1 | |
св. 70 до 90 | 0.07 | |
св. 90 до 99 | 0.04 | |
св. 99 до 99.9 | 0.008 | |
Фтор (F2) | св. 1•10-5 до 5•10-5 | 7.5 |
св. 5•10-5 до 1•10-4 | 3 | |
св. 1•10-4 до 1•10-3 | 2 | |
св. 1•10-3 до 0.1 | 1.5 | |
св. 0.1 до 1 | 0.6 | |
св. 1 до 10 | 0.4 | |
св. 10 до 20 | 0.3 | |
Фтористый водород (HF), Фосфин (PH3), Моносилан (SiH4) |
св. 1•10-5 до 5•10-5 | 7.5 |
св. 5•10-5 до 1•10-4 | 3 | |
св. 1•10-4 до 1•10-3 | 2 | |
св. 1•10-3 до 0.1 | 1.5 | |
св. 0.1 до 1 | 0.6 | |
св. 1 до 10 | 0.4 | |
Карбонилхлорид (COCl2) | св. 1•10-5 до 5•10-5 | 7.5 |
св. 5•10-5 до 1•10-4 | 3 | |
св. 1•10-4 до 1•10-3 | 2 | |
св. 1•10-3 до 0.1 | 1.5 | |
св. 0.1 до 1 | 0.6 | |
св. 1 до 5 | 0.4 | |
Диоксид азота (NO2), Хлорид кремния (SiCl4) |
св. 1•10-5 до 5•10-5 | 7.5 |
св. 5•10-5 до 1•10-4 | 3 | |
св. 1•10-4 до 1•10-3 | 2 | |
св. 1•10-3 до 0.1 | 1.5 | |
св. 0.1 до 1 | 0.6 | |
Цианистый водород (HCN) | св. 1•10-5 до 5•10-5 | 7.5 |
св. 5•10-5 до 1•10-4 | 3 | |
св. 1•10-4 до 1•10-3 | 2 | |
св. 1•10-3 до 5•10-2 | 1.5 | |
Формальдегид (CH2O) | св. 1•10-5 до 5•10-5 | 7.5 |
св. 5•10-5 до 1•10-4 | 3 | |
св. 1•10-4 до 1•10-3 | 2 | |
Аргон (Ar), Метан (CH4), Водород (H2), Гелий (He), Азот (N2), Синтетический воздух (air) |
от 0.1 до 1 | 0.6 |
св. 1 до 10 | 0.4 | |
св. 10 до 20 | 0.3 | |
св. 20 до 50 | 0.2 | |
св. 50 до 70 | 0.1 | |
св. 70 до 90 | 0.07 | |
св. 90 до 99 | 0.04 | |
св. 99 до 99.9 | 0.008 |
* – соответствует границам относительной погрешности (±Δ0) при доверительной вероятности (P=0.95)
Интервал номинальных значений СО (молярная доля, %) |
Допускаемое относительное отклонение не более ±Д, % |
св. 1•10-5 до 5•10-5 | 30 |
св. 5•10-5 до 1•10-4 | 20 |
св. 1•10-4 до 1•10-3 | 15 |
св. 1•10-3 до 0.1 | 10 |
св. 0.1 до 1 | 5 |
св. 1 до 10 | 4 |
св. 10 до 20 | 2 |
св. 20 до 50 | 2 |
св. 50 до 70 | 2 |
св. 70 до 90 | 1 |
св. 90 до 99 | 0.5 |
св. 99 до 99.9 | 0.05 |
ГСО 10546-2014
Стандартный образец состава искусственной газовой смеси на основе химически активных газов (ХА-М-1)
Определяемый компонент | Интервал аттестованных (номинальных) значений (% мол.) | Относительная расширенная неопределенность при коэффициенте охвата k=2 (%)* |
Арсин (AsH3), Хлор (Cl2), Хлористый водород (HCl), Трифторид азота (NF3), Аммиак (NH3), Оксид азота (NO), Оксид углерода (CO), Диоксид углерода (CO2), Кислород (O2), Сероводород (H2S), Диоксид серы (SO2) |
св. 1•10-5 до 5•10-5 | 10 |
св. 5•10-5 до 1•10-4 | 5 | |
св. 1•10-4 до 1•10-3 | 4 | |
св. 1•10-3 до 0.1 | 2.5 | |
св. 0.1 до 1 | 1.5 | |
св. 1 до 10 | 1 | |
св. 10 до 20 | 0.6 | |
св. 20 до 50 | 0.4 | |
св. 50 до 70 | 0.2 | |
св. 70 до 90 | 0.15 | |
св. 90 до 99 | 0.1 | |
св. 99 до 99.9 | 0.02 | |
Фтор (F2) | св. 1•10-5 до 5•10-5 | 10 |
св. 5•10-5 до 1•10-4 | 5 | |
св. 1•10-4 до 1•10-3 | 4 | |
св. 1•10-3 до 0.1 | 2.5 | |
св. 0.1 до 1 | 1.5 | |
св. 1 до 10 | 1 | |
св. 10 до 20 | 0.6 | |
Фтористый водород (HF), Фосфин (PH3), Моносилан (SiH4) |
св. 1•10-5 до 5•10-5 | 10 |
св. 5•10-5 до 1•10-4 | 5 | |
св. 1•10-4 до 1•10-3 | 4 | |
св. 1•10-3 до 0.1 | 2.5 | |
св. 0.1 до 1 | 1.5 | |
св. 1 до 10 | 1 | |
Карбонилхлорид (COCl2) | св. 1•10-5 до 5•10-5 | 10 |
св. 5•10-5 до 1•10-4 | 5 | |
св. 1•10-4 до 1•10-3 | 4 | |
св. 1•10-3 до 0.1 | 2.5 | |
св. 0.1 до 1 | 1.5 | |
св. 1 до 5 | 1 | |
Диоксид азота (NO2), Хлорид кремния (SiCl4) |
св. 1•10-5 до 5•10-5 | 10 |
св. 5•10-5 до 1•10-4 | 5 | |
св. 1•10-4 до 1•10-3 | 4 | |
св. 1•10-3 до 0.1 | 2.5 | |
св. 0.1 до 1 | 1.5 | |
Цианистый водород (HCN) | св. 1•10-5 до 5•10-5 | 10 |
св. 5•10-5 до 1•10-4 | 5 | |
св. 1•10-4 до 1•10-3 | 4 | |
св. 1•10-3 до 5•10-2 | 2.5 | |
Формальдегид (CH2O) | св. 1•10-5 до 5•10-5 | 10 |
св. 5•10-5 до 1•10-4 | 5 | |
св. 1•10-4 до 1•10-3 | 4 | |
Аргон (Ar), Метан (CH4), Водород (H2), Гелий (He), Азот (N2), Синтетический воздух (air) |
от 0.1 до 1 | 1.5 |
св. 1 до 10 | 1 | |
св. 10 до 20 | 0.6 | |
св. 20 до 50 | 0.4 | |
св. 50 до 70 | 0.2 | |
св. 70 до 90 | 0.15 | |
св. 90 до 99 | 0.1 | |
св. 99 до 99.9 | 0.02 |
* – соответствует границам относительной погрешности (±Δ0) при доверительной вероятности (P=0.95)
Интервал номинальных значений СО (молярная доля, %) |
Допускаемое относительное отклонение не более ±Д, % |
св. 1•10-5 до 5•10-5 | 50 |
св. 5•10-5 до 1•10-4 | 30 |
св. 1•10-4 до 1•10-3 | 20 |
св. 1•10-3 до 0.1 | 10 |
св. 0.1 до 1 | 5 |
св. 1 до 10 | 5 |
св. 10 до 20 | 3 |
св. 20 до 50 | 3 |
св. 50 до 70 | 3 |
св. 70 до 90 | 2 |
св. 90 до 99 | 0.5 |
св. 99 до 99.9 | 0.05 |
ГСО 10547-2014
Стандартный образец состава искусственной газовой смеси на основе химически активных газов (ХА-М-2)
Определяемый компонент | Интервал аттестованных (номинальных) значений (% мол.) | Относительная расширенная неопределенность при коэффициенте охвата k=2 (%)* |
Арсин (AsH3), Хлор (Cl2), Хлористый водород (HCl), Трифторид азота (NF3), Аммиак (NH3), Оксид азота (NO), Оксид углерода (CO), Диоксид углерода (CO2), Кислород (O2), Сероводород (H2S), Диоксид серы (SO2) |
св. 1•10-5 до 5•10-5 | 15 |
св. 5•10-5 до 1•10-4 | 10 | |
св. 1•10-4 до 1•10-3 | 8 | |
св. 1•10-3 до 0.1 | 5 | |
св. 0.1 до 1 | 3 | |
св. 1 до 10 | 2,5 | |
св. 10 до 20 | 2 | |
св. 20 до 50 | 1 | |
св. 50 до 70 | 0.5 | |
св. 70 до 90 | 0.3 | |
св. 90 до 99 | 0.2 | |
св. 99 до 99.9 | 0.05 | |
Фтор (F2) | св. 1•10-5 до 5•10-5 | 15 |
св. 5•10-5 до 1•10-4 | 10 | |
св. 1•10-4 до 1•10-3 | 8 | |
св. 1•10-3 до 0.1 | 5 | |
св. 0.1 до 1 | 3 | |
св. 1 до 10 | 2.5 | |
св. 10 до 20 | 2 | |
Фтористый водород (HF), Фосфин (PH3), Моносилан (SiH4) |
св. 1•10-5 до 5•10-5 | 15 |
св. 5•10-5 до 1•10-4 | 10 | |
св. 1•10-4 до 1•10-3 | 8 | |
св. 1•10-3 до 0.1 | 5 | |
св. 0.1 до 1 | 3 | |
св. 1 до 10 | 2.5 | |
Карбонилхлорид (COCl2) | св. 1•10-5 до 5•10-5 | 15 |
св. 5•10-5 до 1•10-4 | 10 | |
св. 1•10-4 до 1•10-3 | 8 | |
св. 1•10-3 до 0.1 | 5 | |
св. 0.1 до 1 | 3 | |
св. 1 до 5 | 2.5 | |
Диоксид азота (NO2), Хлорид кремния (SiCl4) |
св. 1•10-5 до 5•10-5 | 15 |
св. 5•10-5 до 1•10-4 | 10 | |
св. 1•10-4 до 1•10-3 | 8 | |
св. 1•10-3 до 0.1 | 5 | |
св. 0.1 до 1 | 3 | |
Цианистый водород (HCN) | св. 1•10-5 до 5•10-5 | 15 |
св. 5•10-5 до 1•10-4 | 10 | |
св. 1•10-4 до 1•10-3 | 8 | |
св. 1•10-3 до 5•10-2 | 5 | |
Формальдегид (CH2O) | св. 1•10-5 до 5•10-5 | 15 |
св. 5•10-5 до 1•10-4 | 10 | |
св. 1•10-4 до 1•10-3 | 8 | |
Аргон (Ar), Метан (СН4), Водород (H2), Гелий (He), Азот (N2), Синтетический воздух (air) |
от 0.1 до 1 | 3 |
св. 1 до 10 | 2.5 | |
св. 10 до 20 | 2 | |
св. 20 до 50 | 1 | |
св. 50 до 70 | 0.5 | |
св. 70 до 90 | 0.3 | |
св. 90 до 99 | 0.2 | |
св. 99 до 99.9 | 0.05 |
* – соответствует границам относительной погрешности (±Δ0) при доверительной вероятности (P=0.95)
Интервал номинальных значений СО (молярная доля, %) |
Допускаемое относительное отклонение не более ±Д, % |
св. 1•10-5 до 5•10-5 | 50 |
св. 5•10-5 до 1•10-4 | 30 |
св. 1•10-4 до 1•10-3 | 20 |
св. 1•10-3 до 0.1 | 10 |
св. 0.1 до 1 | 7 |
св. 1 до 10 | 7 |
св. 10 до 20 | 5 |
св. 20 до 50 | 5 |
св. 50 до 70 | 5 |
св. 70 до 90 | 3 |
св. 90 до 99 | 0.5 |
св. 99 до 99.9 | 0.07 |